浙江厂房特气管道安装连接图

硅烷（SiH4）是一种在常温常压下为具有恶臭的无色气体。它还是一种在室温下能着火、在空气或卤素气体中能爆裂性燃烧和剧毒性的特种气体。硅烷在高科技行业中应用越来越普遍，这与它的特性有关，同时也与行业的特殊需求有关。硅烷（SiH4）可以通过热分解或与其它气体的化学反应制得单晶硅、氮化硅和氧化硅等一系列含硅物质。举例：半导体行业中，硅烷SiH4是显示屏制造中较关键的气体之一，与氨气（NH3）结合使用，形成用于a-Si晶体管的氮化硅层；与氧化亚氮（N2O）结合使用形成MO晶体管的氧化硅层。特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式。浙江厂房特气管道安装连接图

焊工每天在焊接前必须先作焊接试样，经检查合格后方可进行焊接施工，每天的施工结束后还必须做一个末试样，以确认这里的焊接作业是否存在焊接隐患。每次电源变更的时候，都必须重新作试样。焊接试样要附上焊接参数。每天的焊接试样要妥善保存。（焊缝质量的检查主要有焊缝的宽笮度、焊缝的内外均匀度、焊缝的凹凸度、是否氧化、其他不允许的缺陷）。架设到管架上的管道，在焊接作业开始后就要采取不间断充气的方式，即从施工开始到施工结束管道内都要处于冲气保护的状态，但在不进行焊接作业时可适当调小管内气压。但对要求不是很高的施工，为了降低成本，每天的焊接结束后，把两端用管帽和洁净胶带封死。在这里要特别提出的是对输送强腐蚀性气体的耐腐蚀性强的VM管进行对接施焊时，其充气时间必须要达到4-5分钟，而且必须不间断充气。南京色谱仪特气管道安装厂商特气管道工程要选择一家经验丰富的供气气体系统公司。

特种气体管道的施工，特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。然后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。其现场基本的施工程序为：施工图纸会审﹣→施工组织编写﹣→预制间的搭设﹣→施工机具的准备﹣→施工人员的培训﹣→预制图纸的编写﹣→管道的预制﹣→管道的现场安装﹣→系统检测﹣→系统验收。主要的施工机具，特种气体管道的主要施工机具有:全自动轨道焊机(D100、MIOO等)管道切割机（GF锯）、管子割刀、平口机、弯管器、倒角器、管口毛刺修理刮刀、有的需要配置电源稳压器、防止施工现场电流波动对焊接质量造成影响、台虎钳、配电箱、拖线盘、台钻、电钻、冲击钻、切割机、电焊机、手工氩弧焊机、其他辅助工具。

特气管道安装特点，它的特点主要体现在四个方面:安全、经济、纯度和人体工程学。安全:使用者可以通过配备的远程切断系统在紧急状况下切断气体供应。钢瓶储存区的合理布置可以保持可燃性容器和助燃性容器间的安全间距。经济性:使用者只需管理较少的钢瓶，支付较少的钢瓶租金，因为使用同一气体的所有使用点来自于同一个气源。此种供应方式较终会减少运输费用，减少退还给气体公司的空瓶中的余气量，以及良好的钢瓶管理。纯度:减压器面板可以保持气体的指定纯度，钢瓶更换频率的减少导致杂质进入系统的机率降低。特气管道系统的所有管道的支吊架必须符合规范及设计要求，并按照标准图集中的要求制作与安装。

施工前应将管道内的特种气体用高纯氮气完全置换，被置换出的气体应经过尾气处理装置处理，达标后排放。施工完毕、测试合格后，应将管道系统内充入0.1MPa(表压)的高纯氮气。说明：本标准用词说明1 为便于在执行本标准条文时区别对待，对要求严格程度不同的用词说明如下：1) 表示很严格，非这样做不可的：正面词采用“必须”，反面词采用“严禁”；2) 表示严格，在正常情况下均应这样做的：正面词采用“应”，反面词采用“不应”或“不得”；3) 表示允许稍有选择，在条件许可时首先应这样做的：正面词采用“宜”，反面词采用“不宜”；4) 表示有选择，在一定条件下可以这样做的，采用“可”。2 条文中指明应按其他有关标准执行的写法为：“应符合….的规定”或“应按……执行”。管材或管件在粘合前应将承口和插口的粘结面擦拭干净，确保无异物。镇江特气管道安装解决方案

现场的质量管理人员要做好材料的质量检查记录和每天的施工质量检查记录。浙江厂房特气管道安装连接图

系统检测，特气管道施工结束后都需要进行压力检测，氦检漏，颗粒度和水分、氧分测试。压力检测一般采用比较精密的圆盘式压力检测仪或电子检测仪，不用压力表。这样较大程度上提高了检测的精密度。水、氧测试采用水氧分析仪；颗粒度测试目前基本采用激光颗粒测试仪，精度达到0.1微米；而对要求更高的采用核凝结技术（CNC）它可达到0.01微米。其它气相杂质的测试根据具体要求确定。特气管道安装一般采用充氩气加热处理而成，EP管采用电解研磨方式加工而成。其内、外表面极其光亮。洁净管道的焊接除了要达到常规工业管道对焊缝的要求外，还要求焊接时管内、外表面不受污染，焊缝内、外表面必须与母材光亮度基本一致。浙江厂房特气管道安装连接图

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